[18a-146-1~13] 15.4 III-V族窒化物結晶

[18a-146-4] 【注目講演】多光子励起フォトルミネッセンスによるHVPE成長GaNの選択成長過程と転位の伝搬の観察

〇谷川 智之¹、吉田 丈洋²、松岡 隆志¹ (1.東北大金研、2.サイオクス)

キーワード：GaN、多光子励起フォトルミネッセンス、貫通転位

低転位GaN基板の作製に向けて成長機構と転位の挙動との関係解明が課題である。本研究では、厚膜GaN結晶をHVPE選択成長し、多光子励起PLにより内部構造観察を行った。バンド端近傍発光とイエロールミネッセンス発光の強度比は成長面により異なり、発光強度比から成長中の形状が分かる。一方、転位は暗線として観測される。MPPL像からこれらの情報を取得することで、成長中の三次元形状と転位の挙動を同位置計測することができた。