[18a-231A-1~9] 1.5 計測技術・計測標準

[18a-231A-8] 無線LAN搭載SDカードをIoTデバイスとして利用した実験データ自動収集システム

〇(PC)松田 朝彦¹、吉川 英樹¹、知京 豊裕¹ (1.物材機構-DPFC)

キーワード：マテリアルズ・インフォマティクス、IoT、データ収集

実験装置が生成するデータの効率的な収集のため、装置PC自体をネットワークに接続することなく実験データを自動転送するシステムを構築した。単体で無線LAN接続機能・スクリプト実行機能を備えるSDカードをIoTデバイスとして利用し、サーバー上で認証・フォーマット変換・データ蓄積を行う。コンビナトリアル成膜装置のマスク制御状態やセンサーデータ収集などに適用した事例を紹介する。