2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[18a-231B-1~8] 1.6 超音波

2018年9月18日(火) 10:00 〜 12:00 231B (231-2)

近藤 淳(静岡大)

10:00 〜 10:15

[18a-231B-1] ScAlN薄膜/水晶基板上を伝搬する縦型リーキーSAWに水晶カット角とSAW伝搬方向が及ぼす影響

〇鈴木 雅視1、澤田 直弥1、垣尾 省司1 (1.山梨大)

キーワード：弾性表面波、ScAlN薄膜、水晶