[18a-231B-1~8] 1.6 超音波

[18a-231B-2] 抗電界差により周波数スイッチナブルとなるPZT/PbTiO₃分極反転エピタキシャル薄膜音響共振子

〇清水 貴博^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3 (1.早大院・先進理工、2.材研、3.JSTさきがけ)

キーワード：PZT、エピタキシャル薄膜、周波数フィルタ