[18a-233-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術

[18a-233-9] 静電動作ねじり振動型非冷却赤外線センサ

畠垣 知弥¹、熊谷 慎也²、〇佐々木 実¹ (1.豊田工大、2.名城大)

キーワード：非冷却赤外線センサ、ねじり振動子、モード制御

非冷却動作する熱型赤外線センサのための、ねじり振動子を新しく製作した。静電駆動は垂直壁から働くフリンジフィールドを利用する。ねじりばねに張力を加えることで上下方向の剛性を高くし、ねじり変位が上下変位よりも生じ易くした。製作したセンサは、ねじり振動が1次モードとなった。赤外線を吸収して生じる熱変形が、ねじりばねを斜めにするために剛性と振動子の共振周波数を変化させる原理により、赤外線を検出する。