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[18p-133-6] 陽電子消滅によるCIGS薄膜中の空孔型欠陥の検出
キーワード:CIGS、空孔型欠陥、陽電子
陽電子消滅を用いて,3ステージ法で作られたCIGS膜中の空孔型欠陥を評価した.消滅γ線ドップラー拡がり測定および陽電子寿命測定から,CIGS中には単一ないしは複空孔程度の空孔と空孔クラスターが共存していることがわかった.空孔型欠陥濃度は太陽電池効率と相関しており,また,空孔濃度とその深さ分布はSe BEP,成長時間,成膜後の焼鈍により変化することを確認した.