[18p-136-1~15] 3.7 レーザープロセシング

△ [18p-136-13] ヘキサン中レーザーアブレーションによる炭化モリブデンナノ粒子作製

〇寺川 周作¹、余 希¹、浅香 透¹、糸魚川 文広¹、小野 晋吾¹、須藤 正明² (1.名工大、2.IMRA America Inc.)

キーワード：炭化モリブデン、ナノ粒子、フェムト秒レーザー

炭化物のナノ粒子は、焼結体の原料や触媒など様々な分野での応用が期待されている。しかし、既存の作製手法では工程が複雑であり、より簡易的な手法が必要とされている。本研究では、フェムト秒レーザーを用いたヘキサン中でのレーザーアブレーションによるMoの炭化とナノ粒子化を目的とした。その結果、MoCナノ粒子の作製を確認し、各種評価より粒子が高い結晶性を有し、コアシェル構造を持つことを確認した。