[18p-144-1~12] ナノバイオ・ナノ医療に向かう技術イノベーション ～材料、デバイスから計測まで～

[18p-144-8] 印刷技術を用いた酸化物デバイスの形成に向けた材料・プロセス開発

〇福田 伸子¹、日下 靖之¹、白川 直樹¹ (1.産総研FLEC)

キーワード：反転印刷、金属酸化物、薄膜トランジスタ