[18p-146-1~8] New Process Technology of Nitride Semiconductors

[18p-146-6] Improvement of light-extraction efficiency of deep-UV LEDs

〇Hideki Hirayama¹, Yukio Kashima² (1.RIKEN, 2.Marubun)

Keywords:deep-UV LED, AlGaN, light-extraction efficiency

AlGaN深紫外LEDは、殺菌・浄水、皮膚治療、樹脂硬化、印刷など幅広い応用分野において今後の大きな市場が期待されている。我々は、高反射フォトニック結晶を導入することにより深紫外LEDの光取り出し効率を向上することに成功した。