[18p-146-1~8] 窒化物半導体特異構造の科学　～窒化物プロセス技術の新展開～

[18p-146-6] AlGaN深紫外LEDの光取り出し効率の向上

〇平山 秀樹¹、鹿嶋 行雄² (1.理研、2.丸文)

キーワード：深紫外LED、窒化アルミニウムガリウム、光取り出し効率

AlGaN深紫外LEDは、殺菌・浄水、皮膚治療、樹脂硬化、印刷など幅広い応用分野において今後の大きな市場が期待されている。我々は、高反射フォトニック結晶を導入することにより深紫外LEDの光取り出し効率を向上することに成功した。