[18p-212A-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-212A-14] Si基板上InGaAsPマッハツェンダ変調器とInGaAs受光器の集積

〇開 達郎^1,2、相原 卓磨¹、武田 浩司^1,2、藤井 拓郎^1,2、土澤 泰^1,2、硴塚 孝明^1,2、福田 浩^1,2、松尾 慎治^1,2 (1.NTT先端集積デバイス研、2.NTTナノフォトニクスセンタ)

キーワード：シリコンフォトニクス、ヘテロジニアス集積