[18p-212A-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

△ [18p-212A-5] InP/Si Chip-on-Waferプラズマ活性化接合における加重依存性の検討

〇(M2)白 柳¹、菊地 健彦^1,3、西山 伸彦^1,2、八木 英樹³、雨宮 智宏^1,2、荒井 滋久^1,2 (1.東工大工、2.未来研、3.住電)

キーワード：III-V/Siハイブリッド、部分接合、加重依存性