[18p-212A-1~14] 3.15 シリコンフォトニクス

[18p-212A-9] TM0モード励起したMOS型Si光変調器の高効率変調動作の検討

〇藤方 潤一¹、高橋 重樹¹、野口 将高¹、中村 隆宏¹ (1.光電子融合技研)

キーワード：シリコン光変調器、MOSキャパシタ、光モード変換器

1.3 µm波長帯において設計したMOS型変調器に，光モード変換器を適用してTM0モードの光入射を行い，キャリア蓄積モードで動作させることにより，V_πL = 0.2 V・cmの高効率動作と60 µmの位相シフタ長において25 Gbpsの高速動作を実証した．