[18p-223-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[18p-223-12] 電界集中型ナノトランジスタ作製に向けた凸型単結晶VO₂ナノワイヤーチャネルの作製

〇辻 佳秀¹、神吉 輝夫¹、田中 秀和¹ (1.阪大産研)

キーワード：薄膜、トランジスタ、酸化物