[18p-223-1~17] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [18p-223-8] λ相Ti₃O₅エピタキシャル薄膜の合成及び物性評価

〇陳 昊¹、廣瀬 靖¹、長谷川 哲也¹ (1.東大院理)

キーワード：相転移、チタン酸化物、エピタキシャル成長

λ相Ti₃O₅は、光照射や圧力印加、加熱によってα相やβ相へと可逆的に構造相転移することから、光記録材料や蓄熱材料として注目されている。金属的な性質を有すると考えられているが、電気輸送特性の詳細は報告されていない。本研究ではパルスレーザー堆積法を用いλ相Ti₃O₅のエピタキシャル薄膜を合成して、λ相からα相への構造相転移を確認した。一方で、過去の報告と異なり、絶縁体的な温度依存性が観察された。