[18p-231A-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

△ [18p-231A-3] 高湿度標準発生装置の制御の自動化に関する研究

〇石渡 尚也¹、丹羽 民夫¹、阿部 恒¹ (1.産総研 計量標準総合センター)

キーワード：高湿度、湿度発生装置、自動制御

多くの分野で用いられる湿度計の性能評価において、湿度の定まった気体である湿度標準が必要となる。本研究では高湿度の標準に関し、発生露点の高精度化や標準供給の効率化を目指し、発生装置の自動化を行った。本装置が発生する空気の露点は、装置内の温度や圧力、大気圧により定まるため、大気圧の変動などが発生露点の精度に影響する。そこで発生露点の変動を抑制するため、装置内の圧力制御を行う自動制御システムを開発した。