[18p-231A-1~14] 1.5 Instrumentation, measurement and Metrology

[18p-231A-4] Development of primary standard of trace moisture in O₂ and He

〇MINAMI AMANO¹, HISASHI ABE¹ (1.NMIJ/AIST)

Keywords:trace moisture, humidity, standard

半導体デバイスの製造工程では、材料ガス中に不純物として含まれる微量な水分を測定・管理するために、多数の微量水分計が用いられている。これらの水分計を校正・性能評価し、信頼性の高い測定結果を得ることを目的とし、ガス中微量水分の一次標準の開発を行っている。窒素・アルゴンに続き、本研究では酸素およびヘリウムについても微量水分標準の開発を行った。