[18p-231A-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18p-231A-4] 酸素・ヘリウム中微量水分標準の開発

〇天野 みなみ¹、阿部 恒¹ (1.産総研)

キーワード：微量水分、湿度、標準

半導体デバイスの製造工程では、材料ガス中に不純物として含まれる微量な水分を測定・管理するために、多数の微量水分計が用いられている。これらの水分計を校正・性能評価し、信頼性の高い測定結果を得ることを目的とし、ガス中微量水分の一次標準の開発を行っている。窒素・アルゴンに続き、本研究では酸素およびヘリウムについても微量水分標準の開発を行った。