[18p-231A-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18p-231A-5] 原子間力顕微鏡法における薄膜破壊プロセスの解析

〇石原 浩行¹、若家 冨士男¹、村上 勝久²、長尾 昌善²、宮戸 祐治¹、山下 隼人¹、阿保 智¹、阿部 真之¹ (1.阪大院基礎工、2.産総研)

キーワード：原子間力顕微鏡法

タッピングモード原子間力顕微鏡を用いた薄膜試料(脂質二重膜など)の観察中に、薄膜が破壊される現象を経験している。タッピングモードAFM計測時の固体膜破壊の条件が明らかになれば、脂質二重膜を含む様々な膜の破壊を統一的に理解できる。本研究では、タッピングモードAFM測定時の固体膜破壊の条件を明らかにするため、まずは静的な破壊が生じるときの条件や傾向について議論することを目的とした。