[18p-231A-1~14] 1.5 計測技術・計測標準

[18p-231A-9] 3次元レーザースキャナーによる3次元形状計測における偏波依存性

〇張 超¹、林 寧生¹、金 磊¹、セット ジイヨン¹、山下 真司¹ (1.東京大先端研)

キーワード：3次元形状計測、レーザースキャナー、偏波

AMCW LiDARは強度変調されたレーザー光を立体物に照射し、その反射光の包絡線の位相シフトを検出することで、高精細な3次元形状計測を実現でき、測定距離も比較的長く取れるため、工業検査用3次元形状計測に適している。一般的に、工業製品の表面にはシボ加工が施されることが多い。AMCW LiDARの出射光は偏光しており、このような高精細な表面模様による散乱等が原因で形状測定に偏波依存性が生じる。本稿では、このような偏波依存性を実験的に確認したので報告する。