[18p-232-1~17] 3.13 Semiconductor optical devices

[18p-232-1] Quantum Cascade Laser using Oxidization Constriction Layers

〇Rei Hashimoto¹, Tomohiro Takase¹, Tsutomu Kakuno¹, Yuichiro Yamamoto¹, Kei Kaneko¹, Shinji Saito¹ (1.Toshiba Corp. (CMC))

Keywords:Quantum Cascade Laser, QCL, Oxidization Constriction

量子カスケードレーザ(QCL)は赤外域の小型光源として、様々な応用への適用が期待されている。本研究では、QCLに対する酸化狭窄法の適用を検討し、実効的にリッジ幅を狭くできることを確認したので報告する。