[18p-232-1~17] 3.13 半導体光デバイス

[18p-232-1] 酸化狭窄法による量子カスケードレーザ

〇橋本 玲¹、高瀬 智裕¹、角野 努¹、山本 雄一郎¹、金子 桂¹、斎藤 真司¹ (1.東芝生産技術センター)

キーワード：量子カスケードレーザ、QCL、酸化狭窄

量子カスケードレーザ(QCL)は赤外域の小型光源として、様々な応用への適用が期待されている。本研究では、QCLに対する酸化狭窄法の適用を検討し、実効的にリッジ幅を狭くできることを確認したので報告する。