[18p-232-1~17] 3.13 Semiconductor optical devices

△ [18p-232-7] Development of on-chip plasmonic filter for simultaneous sensing from visible to near-infrared

〇(D)Atsutaka Miyamichi¹, Atsushi Ono², Hiroki Kamehama¹, Keiichiro Kagawa², Keita Yasutomi², Shoji Kawahito² (1.Shizuoka Univ., 2.RIE Shizuoka Univ.)

Keywords:Color filters, Plasmonics, image sensor

本研究目的は，可視光と近赤外光を同一撮像素子にて同時弁別取得する新規オンチップ光学フィルタの開発である．本研究では，ナノ周期構造化された金属薄膜を用い，表面プラズモン共鳴に基づく新規カラーフィルタリング技術を提案する．同心円状ナノ周期凹凸構造の中心にサブ波長開口を設けた銀薄膜プラズモニックフィルタを設計・作製し，透過光の可視域から近赤外域における波長選択性と高色再現性を世界で初めて実証した．