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[18p-234B-17] MOVPE法で作製したInAs /GaSb超格子の中赤外発光特性の層厚依存性
キーワード:II型超格子、中赤外発光、有機金属気相成長法
MOVPE法により中赤外発光素子を目的として、系統的にInAs /GaSb 超格子構造を作製し、層厚の違いによる発光特性の変化を調査した。XRDにより、回折ピーク位置は、InAs層の膜厚を変化させた際にはあまり変化しないが、GaSb層の膜厚を変化させた際には大きく変化した。これは、残留ガスの影響の可能性もある。測定できた5µm以下の波長で20Kで発光が得られた。