[18p-331-1~7] 最先端プラズマ科学技術が創る未来社会 ~半導体から医療・農業・宇宙探査まで~

[18p-331-3] 半導体デバイスの未来を支えるプラズマプロセス技術

〇辰巳 哲也¹ (1.ソニーセミコンダクターソリューションズ)

キーワード：プラズマ