[18p-431B-1~12] 【CS.7】 6.5 表面物理・真空, 7.6 原子・分子線およびビーム関連新技術のコードシェアセッション

[18p-431B-3] 量子状態選別O₂分子ビーム-XPS複合装置の開発

〇倉橋 光紀¹ (1.物材機構)

キーワード：酸素、表面反応、X線光電子分光

酸素分子は直線分子であるため、表面に対するO2分子軸の向きは酸化反応生成物化学状態に影響を与えると考えられる。今回、回転状態選別酸素分子ビームを実験室XPSに組み合わせた装置を開発した。小型コイルを用いて試料位置における量子化軸方向を制御することにより、立体制御したO2分子ビーム照射面のXPS分析が可能になることを示した。