[18p-PA1-1~12] 1.6 超音波

[18p-PA1-10] SAWを用いた3層構造のデジタル式マイクロ流体システム

〇寺川 陽太¹、近藤 淳¹ (1.静大院工)

キーワード：弾性表面波、マイクロ流体、液滴搬送

医療やバイオ分野において，化学反応やセンサを小型・集積化するために微小液滴の動きを制御・測定することが可能なデバイスの開発が求められている．本稿では，液滴搬送に弾性表面波(SAW)，測定に微小電極(IDE)センサを使用した．バイオ分野では使い捨て可能なデバイスが必要とされる．そこで，カバーガラス/液体層/圧電基板による3層構造のデジタル式マイクロ流体システムを用いて，液滴搬送・混合・計測を行った．