[18p-PA1-1~12] 1.6 超音波

△ [18p-PA1-4] LiTaO₃/水晶構造上のリーキーSAW特性の解析 -支持基板の物理定数依存性-

〇(M2)林 純貴¹、浅川 詩織¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、桑江 博之²、米内 敏文³、岸田 和人³、水野 潤² (1.山梨大学、2.早稲田大学、3.日本製鋼所)

キーワード：漏洩弾性表面波、結合係数、水晶

本報告では，LT/水晶接合構造における支持基板の物理定数(弾性定数cij, 誘電率εij, 密度ρ)の各テンソルが，LSAWの結合係数K2に与える影響度について理論的に検討した．それぞれの定数のうち，ρ, c44, c66, ε11, ε33の順にK2への影響が大きく，その他のテンソルはほとんど影響を与えていないことが分かった．そこで，c-Al2O3とATカット90°X伝搬水晶の各テンソルを比較すると，ρ, c44において水晶の方が高結合化に有利であることが確認された．