[18p-PA1-1~12] 1.6 Ultrasonics

[18p-PA1-6] Electrical Insulation Characteristics of Transversal SAW Filters deposited with SiO₂ film

Yuki Ichikawa¹, Shigeyoshi Goka¹, Shoji Kakio², 〇Ken Watada¹, Ryo Nonaka¹, Keiji Wada¹ (1.Tokyo Metro Univ., 2.Univ. Yamanashi)

Keywords:SAW Filter, gate drive circuit, Wide-gap semiconductor

弾性表面波(SAW)を用いたゲート駆動回路の電気的絶縁特性改善を目的とし、従来型SAWフィルタにSiO₂被膜を施したSiO₂/Al/LiNbO₃構造に関して報告する。SiO₂は空気に比べ比誘電率が十分大きくなるため、入出力IDT間の電気的絶縁性能の向上が見込まれる。
本報告では、SiO₂被膜厚の異なるSiO₂/Al/LiNbO₃構造SAWフィルタを作製し、電気的絶縁性能の評価を行うことで、SiO₂被膜による電気的絶縁性能の改善とその効果を明らかにする。