2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

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[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

2018年9月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[18p-PA2-1] SiO2のカリウム不純物の原子構造

宮島 岳史1、洗平 昌晃2,1、白石 賢二2,1 (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード:第一原理計算、SiO2、カリウム

近年、絶縁体中の金属原子の拡散現象を機能的に利用するデバイスの研究が行われている。例えば、振動型MEMS発電デバイスの固体イオンエレクトレットの作成にはSiO2中に混入したカリウム原子が利用されている。しかしSiO2中に電荷を蓄える要因は未だ分かってない。そこで本研究では、密度汎関数理論に基づく第一原理計算を用いて、カリウム原子が混入した際のSiO2の構造と荷電状態を解析し、固体イオンエレクトレットの原理を明らかにする。