[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

[18p-PA2-16] SiOキャップ層を用いたGe/Na₃AlF₆から成る遠赤外線フィルターの作製

〇室 幸市¹ (1.朝日分光)

キーワード：光学フィルター、遠赤外線、蒸着

光学フィルターは光波の干渉を用いており、対象波長が長くなるにつれ光学膜厚が厚くなり、蒸着等による作製時に応力等に起因する剥離の問題が出てくる。遠赤外線フィルターを構成するNa₃AlF₆超厚膜に対して、SiOキャップ層による剥離抑制の効果を見出した。Ge/Na₃AlF₆から構成される多層膜にSiOを挿入することで剥離抑制を確認した。代替フロンガス用フィルターを作製し、イメージング識別を達成した。