13:30 〜 15:30
[18p-PA2-16] SiOキャップ層を用いたGe/Na3AlF6から成る遠赤外線フィルターの作製
キーワード:光学フィルター、遠赤外線、蒸着
光学フィルターは光波の干渉を用いており、対象波長が長くなるにつれ光学膜厚が厚くなり、蒸着等による作製時に応力等に起因する剥離の問題が出てくる。遠赤外線フィルターを構成するNa3AlF6超厚膜に対して、SiOキャップ層による剥離抑制の効果を見出した。Ge/Na3AlF6から構成される多層膜にSiOを挿入することで剥離抑制を確認した。代替フロンガス用フィルターを作製し、イメージング識別を達成した。