2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

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[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

2018年9月18日(火) 13:30 〜 15:30 PA (イベントホール)

13:30 〜 15:30

[18p-PA2-8] 紫外エキシマ光/レーザー照射によるβ-Ga2O3薄膜の室温固相結晶化プロセスの検討

大賀 友瑛1、森田 公之1、池谷 侑紀1、土嶺 信男2、金子 智3,1、松田 晃史1、吉本 護1 (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技総研)

キーワード:β-Ga2O3、紫外エキシマ光、レーザーアニール