[18p-PA2-1~20] 6.4 薄膜新材料

△ [18p-PA2-8] 紫外エキシマ光／レーザー照射によるβ-Ga₂O₃薄膜の室温固相結晶化プロセスの検討

〇大賀 友瑛¹、森田 公之¹、池谷 侑紀¹、土嶺 信男²、金子 智^3,1、松田 晃史¹、吉本 護¹ (1.東工大物質理工、2.(株)豊島製作所、3.神奈川県産技総研)

キーワード：β-Ga2O3、紫外エキシマ光、レーザーアニール