[18p-PA3-1~4] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[18p-PA3-1] 電気力学天秤を用いた微結晶育成

〇横山 知則¹、秋山 泰伸¹ (1.東海大工)

キーワード：結晶成長、電気力学天秤

クーロン力と重力の釣り合いによってマイクロスケールの粒子を空中に浮遊させることができる電気力学天秤(Electro Dynamic Balance(以下EDB)は、固体と同様に液滴も浮遊させることが可能である。この事を利用すると壁などの固体界面と接触がない状態での結晶成長が可能である。固体界面との接触がなければ不均一核生成の発生を抑えることが可能で、結晶強度の低下の原因である面欠陥の生成の抑制ができると考え、微結晶育成を試みた。