[18p-PA3-1~4] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[18p-PA3-3] 接合したシリカガラス間のOH基拡散解析方法の改良

〇杉山 雄哉¹、青木 裕亮¹、葛生 伸¹、堀越 秀春²、堀井 直宏³ (1.福井大、2.東ソー・エスジーエム、3.福井高専)

キーワード：非晶質

OH濃度の異なる２種類のOH基含有シリカガラスを接合し熱処理することによって変化したOH分布変化に対してボルツマン俣野の方法と呼ばれる解析法を適用して拡散係数を求めることにより，拡散係数がOH濃度に比例することを示した。従来、手間がかかり表面からの拡散に適用が困難なアナログな方法で解析してきた。解析が容易で表面からの拡散にも使える方法を開発するために，精度的に信頼できる近似関数を用いたフィッティングを提案した。