[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

[18p-PA4-1] 小型ヘテロダイン干渉光源の開発

〇石田 拓運¹、守本 雄¹、高和 宏行¹ (1.ユニオプト(株))

キーワード：ヘテロダイン干渉計、半導体レーザー

前回報告した小型光ヘテロダイン干渉計のHe-Neレーザーを、半導体レーザーに置き換える試みについて報告する。