[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

[18p-PA4-13] パルスレーザー堆積法によるYF₃薄膜作製におけるパルス幅の影響

〇鈴木 健太郎¹、大谷 潤¹、小野 晋吾¹、加瀬 征彦² (1.名工大、2.ウシオ電機)

キーワード：フッ化物、パルスレーザー堆積法、真空紫外線検出器