[18p-PA4-1~20] 3.8 Optical measurement, instrumentation, and sensor

[18p-PA4-5] High-sensitivity and high-resolution absorption spectra measurement of H₂O using Wavelength-Meter-Controlled Cavity Ring-Down Spectroscopy trace moisture meter

〇Koji Hashiguchi¹, Daniel Lisak², Hisashi Abe¹ (1.NMIJ/AIST, 2.UMK)

Keywords:trace moisture, CRDS, absorption spectra measurement

半導体や有機EL・有機太陽電池をはじめとしたハイテク産業において、ガス中微量水分を精確に測定、管理する需要が高まっている。本研究では、これまで開発を進めてきた波長計制御型キャビティリングダウン分光法(CRDS)微量水分計を用いて、水の高感度吸収スペクトル測定を実現し、得られた結果を用いて検出限界について考察した結果について報告する。また、高分解能化に向けた取り組みについても紹介する。