[18p-PA4-1~20] 3.8 光計測技術・機器

[18p-PA4-7] チタンサファイアレーザによるジルコニウム原子の飽和吸収分光計測

〇榎本 瑛夫¹、西宮 信夫¹ (1.工芸大工)

キーワード：ジルコニウム、飽和吸収分光、チタンサファイアレーザ

ジルコニウムは遷移金属でレアメタルの１つであるが、酸素、窒素、水素、ハロゲンなどの化合物は様々な用途で使われておりその薄膜を利用する技術が進んでいる。また融点が高く気体状の原子を得るにはマグネトロンスパッタ等でプラズマを利用するのが容易である。今回Zr原子の 4d³5s→4d²5s5p等の電子遷移飽和吸収スペクトルを測定し、偶数の３つの同位体スペクトル確認できた。