[18p-PA6-1~30] 13.7 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術

[18p-PA6-7] GaN中プラズマ照射誘起欠陥の生成・移動メカニズムの検討

〇(M1)安念 将慶¹、中村 成志¹ (1.首都大院SD)

キーワード：GaN、プラズマ照射誘起欠陥