2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン(ポスター)

2018年9月18日(火) 16:00 〜 18:00 PB (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[18p-PB3-57] 酸化グラフェンの低波長VUV光還元

岡本 克文1、宇都宮 徹1、一井 崇1、杉村 博之1 (1.京大院工)

キーワード:真空紫外光、電界効果トランジスタ

当研究室ではグラフェンの大量生産の手法として酸化グラフェン (GO) の真空紫外 (VUV) 光(100~200nm)による還元を行なっている.これまでVUV光の低波長領域(100~160nm)に注目し,重水素(D2)ランプを照射光源とした光還元の報告を行なった.還元度が向上する一方,基板とrGO単層部の高低差が逆転した.本研究ではさらなる反応制御を目指し,サファイアガラスを用い,照射波長の制御を行うことで,低波長VUV光領域での反応プロセス解明を試みた.