[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

[18p-PB3-62] プラズマ酸化を援用した低ピット密度グラフェン形成の起源

〇(M2)南 映希¹、伊藤 亮太¹、佐野 泰久¹、川合 健太郎¹、山村 和也¹、有馬 健太¹ (1.阪大院工)

キーワード：グラフェン、SiC、プラズマ酸化