[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン（ポスター）

△ [18p-PB3-66] LPCVD法によるALD-Al₂O₃上へのグラフェンの直接生成

〇鎌田 悠司¹、篁 耕司¹、中村 基訓¹ (1.旭川高専)

キーワード：グラフェン、ALD-Al2O3、LPCVD