2018年第79回応用物理学会秋季学術講演会

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[18p-PB3-1~95] 17 ナノカーボン(ポスター)

2018年9月18日(火) 16:00 〜 18:00 PB (白鳥ホール)

16:00 〜 18:00

[18p-PB3-76] SiC上グラフェンの移動度に及ぼす界面の影響

〇(B)榊原 涼太郎1、河原 憲治2、吾郷 浩樹2、乗松 航1 (1.名大工、2.九大グローバル)

キーワード:グラフェン、キャリア移動度、転写

SiC基板上に成長させたグラフェンは、SiCとの界面にbuffer層とよばれる層が形成され、グラフェンのキャリア移動度を低下させることが知られている。本研究では、このbuffer層の及ぼす効果について詳しく調べるため、CVD法により成長させたグラフェンをbuffer層上へ転写しその電気伝導測定を行うというアプローチを行った。その結果、転写されたグラフェンは、SiC上に成長させたグラフェンと比較してbuffer層との相互作用が極端に弱いことがわかった。