[19a-133-1~12] 6.1 Ferroelectric thin films

[19a-133-1] Characterization of effective transverse piezoelectric coefficients e_31,f of P(VDF-TrFE) films

〇Iduru Kanagawa¹, Yuji Matsushita¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:P(VDF-TrFE), effective transvers piezoelectric coefficients, positive piezoelectric effect

フッ化ビニリデン(VDF)-三フッ化エチレン(TrFE)共重合体［P(VDF-TrFE)］は優れた圧電特性、焦電特性を有する代表的な有機強誘電体である。高い柔軟性や低い比誘電率からエナジーハーベスタやセンサなどへの応用が期待されており、圧電特性に対してはシート状の試料における報告例が多い。本研究では圧電MEMS応用の観点からPZT等の無機圧電体薄膜と同じ評価手法を用いてP(VDF-TrFE)膜の正圧電評価を行った。