[19a-133-1~12] 6.1 強誘電体薄膜

[19a-133-1] P(VDF-TrFE)膜におけるe_31,f 圧電定数の評価

〇金川 いづる¹、松下 裕司¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大工)

キーワード：P(VDF-TrFE)、e31,f定数、正圧電効果

フッ化ビニリデン(VDF)-三フッ化エチレン(TrFE)共重合体［P(VDF-TrFE)］は優れた圧電特性、焦電特性を有する代表的な有機強誘電体である。高い柔軟性や低い比誘電率からエナジーハーベスタやセンサなどへの応用が期待されており、圧電特性に対してはシート状の試料における報告例が多い。本研究では圧電MEMS応用の観点からPZT等の無機圧電体薄膜と同じ評価手法を用いてP(VDF-TrFE)膜の正圧電評価を行った。