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[19a-133-4] PLD法を用いた(Bi,Na)TiO3-BaTiO3系厚膜の作製とその特性評価
キーワード:強誘電体材料
(Bi, Na)TiO3-BaTiO3は非鉛材料の中でも高い圧電特性を示すことが知られておりの非鉛圧電材料の有望な候補の1つである。
一般に圧電用途を考えた場合、メモリ等に比べて厚い強誘電体膜が必要である。例としてセンサ用途では1 mm以上の膜厚が必要とされている。本研究ではパルスレーザー堆積法を用いて膜厚がマイクロメータオーダーの(Bi, Na)TiO3-BaTiO3膜の作製について研究を行った。
一般に圧電用途を考えた場合、メモリ等に比べて厚い強誘電体膜が必要である。例としてセンサ用途では1 mm以上の膜厚が必要とされている。本研究ではパルスレーザー堆積法を用いて膜厚がマイクロメータオーダーの(Bi, Na)TiO3-BaTiO3膜の作製について研究を行った。