[19a-135-1~1] 真空の世界：真空技術の基礎

[19a-135-1] 真空の世界：真空技術の基礎

【内容】
真空技術は電気電子・機械・化学分野など種々の科学技術分野の各種装置を支える基盤技術として利用されている。特に、超微細化や多様な材料利用が進行する電子デバイスの開発製造において、真空技術はキーテクノロジーの役割を果たす。本講座では、真空技術の基礎(気体の状態方程式・気体の速度・平均自由行程・入射頻度・気体の流れ)について概観し、真空ポンプや真空計など真空コンポーネントの原理及びこれらの利用・選択のポイントについて説明し、真空排気装置の構成とその真空排気過程について解説する。