[19a-141-1~6] 8.1 プラズマ生成・診断

[19a-141-2] DCパルス放電による容量結合プラズマの特性評価

〇進藤 崇央¹、森田 靖¹、鈴木 歩太¹、松土 龍夫¹ (1.東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ)

キーワード：パルスDC、電子密度、イオンエネルギ